Eine kurze Anwendung drahtloser Temperaturmessprodukte in Halbleiterfabriken

Zusammenfassung: Halbleiter gelten als „Gehirne der Fertigung“. Sie dominieren wichtige Industrien und Schlüsselbereiche im Zusammenhang mit der nationalen Sicherheit und der Lebensader der Volkswirtschaft und sind eine wichtige Säule der Volkswirtschaft. Mit der Entwicklung der digitalen Technologie und dem zunehmenden Anteil der digitalen Wirtschaft an der Volkswirtschaft wird die Bedeutung der Halbleiterindustrie weiter zunehmen. Eine sichere und zuverlässige Stromversorgung ist die grundlegende Garantie für eine sichere Produktion. Dieser Artikel richtet sich an das Stromversorgungs- und Verteilungssystem-Engineering-Projekt der Halbleiterproduktion. Entsprechend den spezifischen Anforderungen werden drahtlose Temperaturmessgeräte angemessen ausgewählt, um die Temperatur empfindlicher Geräte im Umspannwerk zu erfassen und zu verhindern, dass die Temperaturen der lokalen Geräte zu hoch sind und Brände verursachen. Auch drahtlose Temperaturmesssysteme kommen zum Einsatz. Überwachung und Steuerung realisieren die elektrische Automatisierung von Stromversorgungs- und Verteilungssystemen sowie der Unternehmensproduktion. Dieses System kann sicher, zuverlässig und bequem Echtzeit-Temperaturinformationen von Energieanlagen abrufen, Fehlerwarnungen und Statusanalysen aus der Ferne durchführen und Unterstützung bei der Gewährleistung des sicheren Betriebs des Stromnetzes der Halbleiterfabrik bieten.

Schlüsselwörter: Halbleiter; drahtlose Temperaturmessung; Drahtloses Temperaturmesssystem.

1. Übersicht: Dieses Halbleiterfabrikprojekt muss auf den Echtzeitüberwachungs- und Fehlerwarnungsmanagementanforderungen des Stromverteilungssystems des Benutzers basieren. Es erfordert eine Leistungsdatenerfassung für jeden Stromkreis des 10-kV- und 0,4-kV-Stromverteilerraums der Halbleiterfabrik sowie eine Echtzeit-Temperaturüberwachung der elektrischen Knoten im Stromverteilerschrank. Erreichen Sie eine frühzeitige Warnung vor versteckten Gefahren, eine frühzeitige Erkennung und frühzeitige Untersuchung, um den normalen Betrieb des Stromverteilungssystems in der Halbleiterwerkstatt sicherzustellen.

Basierend auf den tatsächlichen Produktionsprozessanforderungen des Benutzers werden dieses Mal intelligente Leistungsmesser in allen 10-kV- und 0,4-kV-Stromkreisen von Fabrik 1 und Fabrik 2 sowie in den 0,4-kV-Eingangsschränken, Kondensatorschränken, Sammelschienenschränken und Ausgangskabeln installiert von Factory 1 und Factory 2 installiert. Der Schrank ist mit 6 Temperatursensoren ausgestattet. Im Überwachungszentrum im ersten Stock des Fabrikgebäudes 1 ist ein Energieüberwachungssystem eingerichtet, um Stromzähler- und drahtlose Temperaturmessdaten in Echtzeit zu sammeln und zu verwalten und so den zuverlässigen Betrieb des Halbleiter-Stromverteilungssystems sicherzustellen.

2 Produktanforderungen

Dieses Mal müssen für ein Halbleiterprojekt in Zhejiang drahtlose Temperaturmessprodukte konfiguriert werden. Die Sensoranforderungen für dieses Projekt sind wie folgt:

1) Drahtloser Temperatursensor ohne Batteriebetrieb (betrieben durch Induktionsstromversorgung).

2) Funkfrequenz: 470 MHz;

3) Anlaufstrom: ≥5A;

4) Temperaturmessbereich: -50 ℃ ~ +125 ℃;

5) Abtastfrequenz: 15 s;

6) Übertragungsfrequenz: 15s;

7) Genauigkeit: ±1℃;

8) Arbeitstemperatur: -40 ℃ ~ +85 ℃;

9) Maximaler Arbeitsstrom: Primärnennstrom 5000 A;

10) Anforderungen an den Temperaturanstieg: Unter Nennbetriebsbedingungen sollte das Gerät keine Temperatur erreichen, die die Isolierung der Primärausrüstung des Schaltschranks und den normalen Betrieb des Messpunkts beeinträchtigen könnte. Die Stromwandlerspule des Geräts leitet 1250 A, 30 Minuten lang und die Umgebungstemperatur beträgt 20 °C. Der Anstieg der Oberflächentemperatur des drahtlosen Temperatursensors sollte 10 K nicht überschreiten.

11) Übertragungsentfernung: Die offene Entfernung beträgt nicht mehr als 150 Meter.

Die Empfängeranforderungen für dieses Projekt sind wie folgt:

1) Arbeitsstromversorgung: AC/DC85V-264V-Stromversorgung; DC12~48V-Stromversorgung;

2) Übertragungsentfernung: Die offene Entfernung beträgt nicht mehr als 150 Meter;

3) Kommunikationsschnittstelle: 1 Kanal RS485 serielle Kommunikationsschnittstelle, Modbus-RTU-Kommunikationsprotokoll;

4) Installationsmethode: 35-mm-Führungsschienentyp;

5) Anzahl der Messpunkte: mindestens 240 Punkte;

6) Hochtemperaturalarm: 2 Alarmausgänge.

Basierend auf den oben genannten Anforderungen werden die drahtlosen Temperaturmessprodukte von Ankerui wie in der folgenden Tabelle gezeigt ausgewählt.

3 Produktlösungen

Am Beispiel des Stromverteilungsraums des Fabrikgebäudes Nr. 2 können die Bedingungen anderer Stromverteilungsräume entsprechend der tatsächlichen Situation angepasst werden. Dieser Stromverteilerraum verfügt über 0,4-kV-3-Segment-Sammelschienen. Die Sammelschiene Nr. 1 (T7) verfügt über 5 Steckdosenschränke, 1 USV-Schrank, 1 Kantenfilterschrank und 2 SVG-Schränke zur Blindleistungskompensation. Der Steckdosenschrank verfügt über insgesamt 35 Steckdosenschubladen. Bus Nr. 2 (T8) verfügt über drei Steckdosenschränke, einen Kantenfilterschrank und einen Blindleistungskompensations-SVG-Schrank. Der Steckdosenschrank verfügt über insgesamt 19 Steckdosenkreise. Bus Nr. 3 (T9) verfügt über einen Ausgangsschrank und einen Eingangsschrank. Auf einer Seite befindet sich ein Blindleistungskompensations-SVG-Schrank, und der Steckdosenschrank verfügt über insgesamt 9 Steckdosenkreise. Der Sammelschienenplan ist in Abbildung 1 und der Stromverteilungsraumplan in Abbildung 2 dargestellt. Der Abstand zwischen dem Gateway und dem am weitesten entfernten 0,4-kV-Schaltschrank beträgt nicht mehr als 30 Meter.