半導体工場におけるワイヤレス温度測定製品の簡単な応用

要約：半導体は「製造業の頭脳」として知られ、国家安全保障と国民経済の生命線に関わる主要産業と重要分野を支配し、国民経済の重要な支柱となっています。デジタル技術の発展と国民経済におけるデジタル経済の比率の高まりに伴い、半導体産業の重要性はさらに高まっています。安全で信頼性の高い電力供給は、安全な生産の基本的な保証です。本稿は、半導体生産における電力供給・配電システムエンジニアリングプロジェクトを対象としています。具体的な要件に応じて、変電所内の敏感な機器の温度を検出する無線温度測定装置を適切に選定し、機器の局所的な温度上昇による火災発生を防止します。また、無線温度測定システムも活用されています。監視・制御により、電力供給・配電システムと企業生産の電気自動化を実現します。このシステムは、電力設備のリアルタイム温度情報を安全、確実、かつ簡便に取得し、遠隔での障害警告と状態分析を実現し、半導体工場の電力網の安全運用確保を支援します。

キーワード: 半導体、ワイヤレス温度測定、ワイヤレス温度測定システム。

1. 概要：この半導体工場プロジェクトは、ユーザーの配電システムのリアルタイム監視および障害警報管理要件に基づいて構築する必要があります。半導体工場の10kVおよび0.4kV配電室の各回路の電力データ収集と、配電盤内の電気ノードのリアルタイム温度監視が必要です。これにより、潜在的な危険の早期警告、早期検知、早期調査を実現し、半導体工場の配電システムの正常な動作を確保します。

今回、ユーザーの実際の生産工程の要件に基づき、第1工場と第2工場の10kVおよび0.4kVの全回路にインテリジェント電力計を設置し、第1工場と第2工場の0.4kV受電キャビネット、コンデンサキャビネット、バスタイキャビネット、コンセント配線にも設置しました。キャビネットには6つの温度センサーが装備されています。第1工場棟1階の監視センターに電力監視システムを設置し、電力計と無線温度測定データをリアルタイムで収集・管理することで、半導体電力分配システムの信頼性の高い運用を確保しています。

2 製品要件

今回は、浙江省の半導体プロジェクトにおいて、ワイヤレス温度測定製品の設定が必要でした。このプロジェクトのセンサー要件は次のとおりです。

1) 非電池駆動（誘導電源駆動）ワイヤレス温度センサー

2) 無線周波数：470MHz

3) 始動電流：≥5A;

4）温度測定範囲：-50℃～+125℃；

5) サンプリング周波数：15秒

6) 送信頻度：15秒

7) 精度: ±1℃;

8) 動作温度：-40℃～+85℃；

9) 最大動作電流：一次定格電流5000A

10）温度上昇要件：定格動作条件下では、本装置は配電盤主要機器の絶縁および測定点の正常な動作に影響を与える温度に達してはなりません。本装置の変流器コイルは1250Aを30分間通電し、周囲温度が20℃の場合、無線温度センサーの表面温度上昇は10Kを超えてはなりません。

11) 伝送距離: オープン距離は 150 メートル以下です。

このプロジェクトの受信機の要件は次のとおりです。

1) 動作電源：AC/DC85V-264V電源、DC12〜48V電源。

2) 伝送距離：開放距離は150メートル以下です。

3) 通信インターフェース：1 チャネル RS485 シリアル通信インターフェース、Modbus-RTU 通信プロトコル。

4）取り付け方法：35mmガイドレールタイプ。

5) 測定点の数：240点以上

6) 高温警報：警報出力2個。

上記の要件に基づいて、下表に示すように Ankerui のワイヤレス温度測定製品が選択されました。

3つの製品ソリューション

第2工場棟の配電室を例にとると、他の配電室の条件は実際の状況に応じて調整できます。この配電室には0.4kV 3セグメントバスバーがあります。1番バスバー（T7）には、5つのアウトレットキャビネット、1つのUPSキャビネット、1つのエッジフィルタキャビネット、および2つの無効電力補償SVGキャビネットがあります。アウトレットキャビネットには合計35個のアウトレットドロワーがあります。バスNo.2（T8）には、3つのアウトレットキャビネット、1つのエッジフィルタキャビネット、および1つの無効電力補償SVGキャビネットがあります。アウトレットキャビネットには合計19個のアウトレット回路があります。バスNo.3（T9）には、1つのアウトレットキャビネットと1つの入力キャビネットがあります。片側に無効電力補償SVGキャビネットがあり、アウトレットキャビネットには合計9個のアウトレット回路があります。バスバープランを図 1 に示し、配電室プランを図 2 に示します。ゲートウェイと最も遠い 0.4kV 配電盤間の距離は 30 メートル以下です。